分别利用阴极电弧离子镀和磁控溅射技术技术,开发出一系列高硬度、耐磨、抗冲蚀机械功能金属氮化物(如 TiN、ZrN、CrN、TiCN、TiAlN、CrAlN、CrAlSiN、CrTiAlN、TiN/ZrN 等)薄膜。膜层硬度≥20GPa,可广泛应用于机械制造刀具模具、航空、汽车和五金关键部件等。可根据不同的应用选择不同的涂层,如应用于刀具的抗高温氧化耐磨可选择 TiAlN、CrAlN、CrAlSiN 和 CrTiAlN,应用于活塞环选择韧性好的 CrN 厚膜,对于抗冲蚀工况,则选择 TiN/ZrN软硬交替膜层。